MFC システムを備えた 1700C 高真空 CVD 管状炉

使用上の注意：
炉心管内のガス圧力は 0.02MPa を超えることはできません。
・ガスシリンダー内のガス圧力が高いため、炉管内にガスを導入する際にはガスシリンダーに減圧弁を取り付ける必要があります。安全性を確保するため、0.02MPa以下の圧力でのご使用を推奨します。弊社減圧弁のご購入を推奨いたします。当社の減圧弁のレンジは0.01MPa～0.1MPaであり、より正確で安全にご使用いただけます。炉体温度が1000度を超える場合、炉心管は真空状態にならず、炉心管内のガス圧力は大気圧と同等でなければなりません。
·加熱された石英管への冷気の流れの影響を避けるために、炉心管に入るガス流量は 200SCCM 未満でなければなりません。
·石英管の長期使用温度は次のとおりです。-<1100℃.
・試料加熱実験の場合、炉心管フランジ端の排気バルブ、吸気バルブを閉めることはお勧めしません。サンプルを加熱するためにガスバルブを閉じる必要がある場合は、常に圧力計に注意を払う必要があります。圧力測定値が0.02MPaを超えた場合は、事故（炉心管の破断、フランジの飛び出しなど）を防ぐため、直ちにエアリリーフバルブを開けてください。